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凈化工程技術(shù)設(shè)備發(fā)展和應(yīng)用趨勢

作者:凈化工程 瀏覽量:584 來源:本站 時間:2022-08-10 09:42:07

信息摘要:

對于半導(dǎo)體設(shè)備來講,凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路。而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴格的要求。

凈化技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù),是近些年隨著高新技術(shù)發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)通常包括:空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜志控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的檢測技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境只來那個的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。

對于半導(dǎo)體設(shè)備來講,凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路。而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個重要標志。

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隨著我國人民生活水平提高,人們對生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來越高要求,用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎,凈化工程技術(shù)已經(jīng)開始進入千家萬戶,進入人們的現(xiàn)代生活。

凈化技術(shù)和裝備的國際市場十分巨大,日本到80年代末、90年代初潔凈技術(shù)和設(shè)備的銷售額已突破35億美元。美國和西歐等先進國家潔凈設(shè)備和基礎(chǔ)部件的銷售額已達73億美元。據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計,我國主要八家最大的凈化設(shè)備廠的銷售額1990年為8217萬元,還不足1億,1993年達到14495萬元,占國際市場銷售額的0.34%。但隨著我國高新技術(shù)的迅速發(fā)展和微電子工業(yè)、光纖工業(yè)、液晶顯示工業(yè)及光電器件工業(yè)、生物工程、醫(yī)藥工業(yè)的發(fā)展,我國潛在的巨大的潔凈技術(shù)產(chǎn)品市場,以每年40%~50%的增長速度在增加。因此在未來,潔凈市場的蛋糕是巨大的。


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